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Remote plasma : ウィキペディア英語版 | Remote plasma
A remote plasma (also downstream plasma or afterglow plasma) is a plasma processing method in which the plasma and material interaction occurs at a location remote from the plasma in the plasma afterglow. ==See also==
*Plasma cleaning *Plasma-activated bonding *Corona treatment *Plasma chemistry *Chemical vapor deposition *Physical vapor deposition *Reactive ion etching *List of plasma (physics) applications articles
抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)』 ■ウィキペディアで「Remote plasma」の詳細全文を読む
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